Травление
Введение
Перенос рисунка
Субтрактивные и аддитивные методы переноса рисунка
Разрешение и профили краев элементов при субтрактивном переносе рисунка
Селективность и контроль размеров элементов
Методы плазменного травления
Общее описание методов плазменного травления
Ионно-плазменное и ионно-лучевое травление
Плазменное травление
Реактивное ионное и реактивное ионно-лучевое травление
Дополнительные вопросы
Факторы, определяющие скорость и селективность травления
Контроль вытравливаемого профиля края элемента
Побочные эффекты
