Подготовка подложек 

• Преимущества кремниевой технологии. Требования к кремнию
• Получение металлургического и электронного кремния
• Структура и дефекты в монокристаллическом кремнии
• Получение кремния методом зонной плавки

• Оборудование и технология процесса
• Основы теории роста монокристаллов
• Факторы, влияющие на дефекты в процессе роста
• Оценка качества кремния и параметров кристаллов
• Окончательная обработка кремния