Осаждение окисных пленок 

• Общая характеристика процесса осаждения
• Кинетика осаждения из газовой фазы
• Оборудование
• Основные реакции
• Поликремний
• Двуокись кремния
• Нитрид кремния
• Пиролитическое осаждение пленок
• Сравнение различных методов осаждения пленок