Осаждение окисных пленок
Общая характеристика процесса осаждения
Кинетика осаждения из газовой фазы
Оборудование
Основные реакции
Поликремний
Двуокись кремния
Нитрид кремния
Пиролитическое осаждение пленок
Сравнение различных методов осаждения пленок