Окисление 

• Использование SiO₂ в производстве СБИС
• Механизм роста и кинетика окисления
• Модель окисления кремния Дила-Гроува
• Сопоставление теоретических и экспериментальных данных
• Рост тонких окислов
• Оборудование для термического окисления
• Особенности роста окислов и влияние различных факторов
• Свойства термических пленок SiO₂
• Плазмохимическое окисление кремния