Методы
контроля и диагностики 

• Общий обзор методов

• Оптическая микроскопия в режиме интерференционного контраста (метод Номарски)
• Просвечивающая электронная микроскопия

• Электронография на просвет
• Лазерное отражение
• Рентгеновская дифракция
• Обратное рассеяние Резерфорда

• Оже-спектроскопия
• Спектроскопия обратного Резерфордовского рассеяния
• Растровая электронная микроскопия
• Масс-спектроскопия вторичных ионов
• Рентгеновский микроанализ
• Рентгеновский флюоресцентный анализ (РФА)
• Электронная спектроскопия с целью химического анализа
• Нейтронно-активационный анализ