Основная литература

1. Технология СБИС / Под ред. Зи С. М. - М.: Мир, 1986. 1, 2 т.
2. Аваев Н. А., Наумов Ю. Е. Элементы сверхбольших интегральных схем. - М.: Радио и связь, 1986. - 168 с.: ил.
3. Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление - М.: Мир, 1985. 504 с.
4. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. - М.: Мир, 1985. 496 с.
5. Таури Я. Основы технологии СБИС. - М.: Радио и связь. 1985. 480 с.
6. Маллер Р., Кейминс Т. Элементы интегральных схем. - М.: 1989. 630 с.

Дополнительная литература

1. Проектирование СБИС: Пер. с япон./Ватанабэ М., Асада К., Кани К., Оцуки Т. - М.: Мир, 1988. 304 с., ил.
2. Зи С. М. Физика полупроводниковых приборов: пер. с англ./Под ред. А. Ф. Трутко. - М.: Энергия, 1973. - 655 с.
3. Готра З. Ю. Справочник по технологии микроэлектронных устройств. - Львов: Каменяр, 1986. 287 с.: рис., табл.
4. Пархутик В.П., Лабунов В.А. Плазменное анодирование.
5. Алексеенко А. Г., Шагурин И. И. Микросхемотехника. - М.: Радио и связь, 1982. - 414 с.
6. Наумов Ю. Е. Интегральные логические схемы. - М.: Сов. радио, 1970. - 432 с.
7. Введение в фотолитографию / Под ред. Лаврищева В. П. - М.: Энергия, 1977. 400 с.
8. Волков В. А. Сборка и герметизация микроэлектронных устройств. - М.: Радио и связь, 1982. 144 с.
9. Курносов А. И., Юдин В. В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высш. шк., 1979. 272 с.
10. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Под ред. Луфт Б. Д. - М.: Радио и связь, 1982. 136 с.
11. Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / Под ред. Дж. Р. Брюэра. М.: Радио и связь. 1984. 336 с.
12. Шагурин И. И., Петросянц К. О. Проектирование цифровых  микросхем на элементах инжекционной логики. - М.: Радио и связь, 1984. - 232 с.

Internet-ссылки

1. Lucent | Innovating Ahead
2. Fullman company. The semiconductor manufactoring process.