Эпитаксия 

• Причина появления и преимущества технологии изготовления эпитаксиальных пленок

• Идея метода, схема реактора
• Процессы массопереноса
• Химическая кинетика
• Механизмы наращивания эпитаксиальных пленок
• Легирование и автолегирование при эпитаксии
• Технологическое оборудование
• Выбор оптимальной технологии
• Дефекты эпитаксиальных пленок

• Преимущества метода
• Описание процесса МЛЭ
• Особенности легирования при МЛЭ
• Перспективы развития. Приборы, получаемые с использованием МЛЭ

• Технология "Кремний на изоляторе"
• Оценка параметров эпитаксиальных структур